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ドライアイススノー精密洗浄システム「QuickSnow」
エア・ウォーターグループのアプリケーション技術

ドライアイススノー精密洗浄システム「QuickSnow」は、液化炭酸ガスからドライアイス微粒子を生成し、これを高速で洗浄対象物に衝突させることで、精密部品や基板表面の有機物やパーティクルを除去します。
QuickSnowは乾式洗浄装置のため、従来方式の薬液洗浄や湿式洗浄のような薬液汚染や洗浄痕、液面張力による対象物の破壊といったリスクが無いことが大きな特長です。また、エアブローでは除去が難しい微粒子にも極めて良好に対応できるなど、ミクロンオーダーの異物に対して効果的な洗浄を、ドライプロセスで提供します。。

大気圧プラスマ表面処理装置
エア・ウォーターグループのアプリケーション技術

大気圧プラズマとは、従来は真空プロセスが必要であった「プラズマ」(ガス中の原子や分子がエネルギーの高い電子やイオンに解離した状態)を大気圧下で安定して発生させる技術です。極めて活性なため低温での処理が可能であり、また、薬液などを使用しないため、環境にやさしく生産性に優れた表面改質方法です。
エア・ウォーターでは、この大気圧プラズマ技術を確立し、フィルムを高速・連続に処理する「ダイレクト型表面処理装置」と、ガラスや基板にプラズマを吹き付けて洗浄する「リモート型表面処理装置」の2方式の装置を開発しました。これまで蓄積した各種産業ガスアプリケーションとの組み合わせにより、製品の品質と生産性の向上を実現する新しいソリューションをご提案します。

VSU供給ネットワーク
エア・ウォーターグループのガスプラント・ガス発生装置

高効率小型液化酸素・窒素製造装置(VSU)は、お客様が立地する地域の近隣に設置するとで、「安定供給」「省エネ」「CO2排出量低減」を同時に実現した、独自の地域液化ガスプラントです。従来の産業ガス供給」は、大型プラントで大量集中生産し、全国各地の需要地までタンクローリーで長距離輸送するという方式が一般的でした。しかし、エア・ウォーターでは、大型プラント並みのエネルギー効率を誇るVSUの技術開発により、ガス需要地に近い生産拠点から近距離輸送を行う新しい供給モデルを確立しました。全国に拠点を拡大し、災害などの緊急時にも万全のバックアップだできる供給ネットワークを構築しています。